模塊化 高精度 激光自動(dòng)對(duì)焦顯微檢測(cè)系統(tǒng)

　　我們?nèi)庋劭此坪芷秸奈矬w，在高倍顯微鏡下，其表面的不同區(qū)域其實(shí)并不是肉眼所見那么平整，而可能是凹凸不平的形態(tài)。

　　由于高倍顯微鏡的景深較小，因此在聚焦到有高度差的區(qū)域時(shí)，需要通過人工或者測(cè)距算法去調(diào)整鏡頭與被測(cè)物體表面的距離（即Z軸距離）來(lái)實(shí)現(xiàn)聚焦，以獲得清晰的圖像，繼而進(jìn)行精準(zhǔn)的圖像處理。

　　在很多高精度的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)（AOI）應(yīng)用場(chǎng)景中，例如，半導(dǎo)體晶圓 (Wafer) 檢測(cè)，液晶顯示屏(FPD、TFT-LCD), MicroLED, MiniLED 基板 等AOI檢測(cè)，都需要通過顯微光學(xué)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。因此這類應(yīng)用要求所裝備的光學(xué)系統(tǒng)除了在高倍下能實(shí)現(xiàn)出色的圖像品質(zhì)之外，還需要具備實(shí)時(shí)自動(dòng)聚焦的功能，以滿足高速高效的檢測(cè)，亦即飛測(cè)(moving inspection)的要求。

　　繼此前介紹的圖像方式、液態(tài)聚焦機(jī)制的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)后，我們?cè)陲@微光學(xué)系統(tǒng)中，在光路上集成了與鏡頭共軸（TTL - Through The Lens) 模式的激光聚焦單元，為用戶提供各種倍率、模塊式、按需選配的實(shí)時(shí)自動(dòng)聚焦（實(shí)時(shí)追焦）的顯微成像光學(xué)解決方案。

　　如上面的動(dòng)圖所示，該實(shí)時(shí)自動(dòng)聚焦的光學(xué)系統(tǒng)為高度靈活的模塊化設(shè)計(jì)，可由用戶DIY式按需選配（客制化），主要由三個(gè)模塊主體組成：

　　顯微成像模塊（光學(xué)模塊）；

　　自動(dòng)對(duì)焦模塊（激光聚焦單元模塊）；

　　光機(jī)安裝模塊（機(jī)械及運(yùn)動(dòng)模塊）；

　　用戶可根據(jù)應(yīng)用需要任意選擇這些模塊，進(jìn)行組合，比如選擇不同倍數(shù)的光學(xué)模塊，不同精度的相機(jī)，實(shí)現(xiàn)不同的AOI檢測(cè)要求。

　　自動(dòng)對(duì)焦模塊

　　該系統(tǒng)為模塊式，客制化（DIY）成像光路，可集成不同的TTL （Through The Lens -與鏡頭共軸)的激光傳感器單元。在獲得清晰圖像的同時(shí)，根據(jù)線性激光反饋信號(hào)閉環(huán)驅(qū)動(dòng)Z軸物鏡快速、持續(xù)地到達(dá)焦點(diǎn)位置，實(shí)現(xiàn)真正實(shí)時(shí)、極速的自動(dòng)對(duì)焦。

　　激光聚焦單元針對(duì)探測(cè)激光在不同材質(zhì)、不同表面物理結(jié)構(gòu)的樣品上反饋信號(hào)的差異，進(jìn)行了優(yōu)化的算法預(yù)設(shè)置，并將其集成在激光單元內(nèi)。用戶只需要根據(jù)不同樣品特點(diǎn)，選擇相應(yīng)的優(yōu)化設(shè)置即可在各種物體表面實(shí)現(xiàn)精確聚焦（適合不同折射率材料）：

　　反射表面，漫射表面，低反射的表面;

　　透明和不透明的物體;

　　平面，或帶圖案和紋理的平面;

　　諸如半導(dǎo)體夾層/基板等包含多種折射率的分層結(jié)構(gòu);

　　顯微成像模塊

　　Navitar高分辨率 模塊式顯微成像鏡頭，提供：

　　鏡筒(tube lens) - 可選定倍、電動(dòng)（自動(dòng)）連續(xù)變倍，手動(dòng)連續(xù)變倍；

　　物鏡-可根據(jù)需要選擇任意品牌，任意倍數(shù)的無(wú)限校正設(shè)計(jì)的物鏡；

　　成像波段-近紫外NUV波段，可見光Vis, 短波紅外SWIR波段可選；

　　光學(xué)放大倍數(shù)可自由組合；

　　可按需集成偏光、DIC、雙視、多波段、多物鏡自動(dòng)切換等功能模塊。

　　所有這些模塊都是標(biāo)準(zhǔn)件，無(wú)需定制，可為用戶節(jié)約大量成本和開發(fā)時(shí)間。

　　光機(jī)集成及軟件模塊

　　結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)安裝環(huán)境，及檢測(cè)需求，我們可為用戶設(shè)計(jì)安裝機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)垂直安裝、轉(zhuǎn)角安裝、倒置安裝、水平安裝等多種安裝方式。

　　系統(tǒng)自帶基礎(chǔ)操作軟件，界面明晰易懂，提供數(shù)據(jù)接口，用戶進(jìn)行二次開發(fā)及更進(jìn)一步的系統(tǒng)集成工作。如用戶需要，也可提供基于應(yīng)用的全套軟件開發(fā)服務(wù)，集成一鍵式自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)。

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